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硅外延用三氯氫硅中總碳的測定 氣相色譜法

Determination of total carbon content in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
標準號:YS/T 1059-2015
基本信息
標準號:YS/T 1059-2015
發布時間:2015-04-30
實施時間:2015-10-01
首發日期:
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:劉英杰、鄭華榮、柯尊斌、劉新軍、趙建為、王桃霞、張京、張云暉、楊紅燕、陳喜清、楊帥
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 半金屬及半導體材料分析方法
ICS分類:金屬材料化學分析
提出單位:全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)
起草單位:中鍺科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江蘇中能硅業科技發展有限公司、新特能源股份有限公司
歸口單位:全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)
發布部門:中華人民共和國工業和信息化部
主管部門:全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)
標準簡介
本標準規定了硅外延用三氯氫硅中總碳含量的氣相色譜測定方法。本標準適用于硅外延用三氯氫硅中總碳含量的測定,測定范圍為0.00005%~0.005%。
標準摘要
本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。 本標準由全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC243)提出并歸口。 本標準起草單位:中鍺科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江蘇中能硅業科技發展有限公司、新特能源股份有限公司。 本標準主要起草人:劉英杰、鄭華榮、柯尊斌、劉新軍、趙建為、王桃霞、張京、張云暉、楊紅燕、陳喜清、楊帥。 |
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