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藍(lán)寶石單晶拋光襯底片 已廢止

Polished monocrystalline sapphire substrates

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 13843-1992

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 13843-1992
發(fā)布時(shí)間：1992-01-02
實(shí)施時(shí)間：1993-08-01
首發(fā)日期：1992-12-28
出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：
作廢日期：2017-12-15
出版機(jī)構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 電子技術(shù)專用材料
ICS分類：  29.040.30
起草單位：天津半導(dǎo)體技術(shù)研究所
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
發(fā)布部門：國家技術(shù)監(jiān)督局
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了生長硅的高純藍(lán)寶石單晶拋光襯底片的技術(shù)要求、測試方法、檢驗(yàn)規(guī)則。本標(biāo)準(zhǔn)適用于制備半導(dǎo)體器件的生長硅的高純藍(lán)寶石單晶拋光襯底片。

替代情況

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引用標(biāo)準(zhǔn)

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