硅--藍寶石外延片 現行
Silicon on sapphire epitaxial wafers
標準號：GB/T 14015-1992
基本信息
標準號：GB/T 14015-1992
發布時間：1992-01-02
實施時間：1993-08-01
首發日期：1992-12-28
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 電子技術專用材料
ICS分類：
29.040.30
起草單位：天津半導體技術研究所
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：國家技術監督局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了藍寶石襯底上生長的單晶硅外延片的技術要求、測試方法、檢驗規則。本標準適用于半導體器件用藍寶石襯底上生長的單晶硅外延片。
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