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硅晶體完整性化學擇優腐蝕檢驗方法
硅晶體完整性化學擇優腐蝕檢驗方法 已作廢
Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
標準號：GB/T 1554-1995
基本信息
標準號：GB/T 1554-1995
發布時間：1995-04-18
實施時間：1995-12-01
首發日期：1979-05-26
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：
作廢日期：2010-06-01
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 金屬無損檢驗方法
ICS分類：金屬材料化學分析
起草單位：峨嵋半導體材料廠
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：國家技術監督局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了用擇優腐蝕技術檢驗硅晶體完整性的方法。
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