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電滲析設備完好要求和檢查評定方法
基本信息
標準號：SJ/T 31460-1994
發布時間：1994-04-15
實施時間：1994-06-01
首發日期：
出版單位：中國電子工業出版社查看詳情>
起草人：沈鵬
出版機構：中國電子工業出版社
標準分類： 化工機械
提出單位：電子工業部經濟運行與體制改革司
起草單位：國營華東電子管廠
發布部門：中華人民共和國電子工業部
標準簡介
本標準規定了電子工業元器件生產中電子級水制造用電滲析設備完好要求和檢查、評定方法。本標準適用于電子元器件，集成電路制造以及清洗工序用電子級水制造的電滲析設備。
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