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濺射靶材-背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗(yàn)方法 現(xiàn)行

Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：YS/T 837-2012

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：YS/T 837-2012
發(fā)布時(shí)間：2012-11-07
實(shí)施時(shí)間：2013-03-01
首發(fā)日期：
出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：劉紅賓、尚再艷、何金江、王欣平、熊曉東、呂保國、江軒、朱曉光、王永輝、何雙起、楊平。
出版機(jī)構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 貴金屬及其合金
ICS分類：其他有色金屬及其合金
起草單位：有研億金新材料股份有限公司、中國計(jì)量科學(xué)研究院、航天703所
歸口單位：全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布部門：中華人民共和國工業(yè)和信息化部
主管部門：全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了濺射用靶材-背板結(jié)合質(zhì)量超聲縱波脈沖反射液浸法C掃描檢驗(yàn)技術(shù)的一般方法。內(nèi)容包括一般要求、檢驗(yàn)設(shè)備、對(duì)比試塊、檢驗(yàn)過程、缺陷評(píng)定及檢驗(yàn)報(bào)告等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于用中間層材料結(jié)合方式（如軟釬焊、硬釬焊和環(huán)氧樹脂粘接等）的濺射靶材-背板結(jié)合面的孔洞、未結(jié)合、氧化物夾雜等缺陷的檢驗(yàn)。其他用途的材料結(jié)合質(zhì)量無損檢測也可參照使用。

標(biāo)準(zhǔn)摘要

本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC243)歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:有研億金新材料股份有限公司、中國計(jì)量科學(xué)研究院、航天703所。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:劉紅賓、尚再艷、何金江、王欣平、熊曉東、呂保國、江軒、朱曉光、王永輝、何雙起、楊平。

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