
Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectrometers—Calibration of energy scales
標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 22571-2017
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了一種用于一般分析目的時校準(zhǔn)X射線光電子能譜儀結(jié)合能標(biāo)尺的方法,該譜儀使用非單色化Al或Mg X射線或單色化Al X射線。它僅適于帶有濺射清潔用的離子槍的儀器。本標(biāo)準(zhǔn)還進(jìn)一步規(guī)定了一種方法,用以建立校準(zhǔn)程序、在中間某一能量值測試結(jié)合能標(biāo)尺線性度、在高低結(jié)合能區(qū)各取一點確認(rèn)標(biāo)尺校準(zhǔn)的不確定度、對標(biāo)尺的小漂移作修正以及規(guī)定在95%置信度時該結(jié)合能標(biāo)尺校準(zhǔn)的擴展不確定度。這個不確定度包括來自實驗室際研究中觀察到的現(xiàn)象的貢獻(xiàn),但不涵蓋所有可能發(fā)生的缺陷。本標(biāo)準(zhǔn)不適用有下述情況的儀器:結(jié)合能標(biāo)尺的誤差隨能量明顯非線性變化、工作在固定減速比模式且減速比小于10、譜儀的分辨率差于1.5 eV或者要求容差極限為 ±0.03 eV或更小。本標(biāo)準(zhǔn)不提供全標(biāo)尺校準(zhǔn)檢驗,該檢驗要對每一個在能量標(biāo)尺上能找到的點加以驗證,需按儀器制造商的推薦程序進(jìn)行。
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