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空間紅外探測器碲鎘汞外延材料參數測試方法

Measuring methods of parameters of HgCdTe epilayers used for space infrared detectors
標準號:GB/T 30110-2013
基本信息
標準號:GB/T 30110-2013
發布時間:2013-12-17
實施時間:2014-05-15
首發日期:
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:楊建榮、周立慶、魏彥鋒、折偉林、孫士文、陳路、王金義、何力
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 半金屬與半導體材料綜合
ICS分類:航空航天用電氣設備與系統
起草單位:中國科學院上海技術物理研究所、中國電子科技集團第十一研究所、中國兵器工業集團昆明物理研究所
歸口單位:全國空間科學及其應用標準化技術委員會(SAC/TC 312)
發布部門:中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門:全國空間科學及其應用標準化技術委員會(SAC/TC 312)
標準簡介
本標準規定了空間紅外探測器用碲鎘汞(HgCdTe)外延材料性能參數的測試方法和測試設備要求。本標準適用于空間紅外探測器用碲鎘汞外延材料的參數測試,其他用途的碲鎘汞外延材料參數的測試可參照使用。
標準摘要
本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。 本標準由全國空間科學及其應用標準化技術委員會(SAC/TC312)歸口。 本標準起草單位:中國科學院上海技術物理研究所、中國電子科技集團第十一研究所、中國兵器工業集團昆明物理研究所。 本標準主要起草人:楊建榮、周立慶、魏彥鋒、折偉林、孫士文、陳路、王金義、何力。 |
標準目錄
前言 Ⅰ 1 范圍 1 2 規范性引用文件 1 3 術語和定義 1 4 符號和說明 3 5 材料參數測試方法 4 5.1 組分與厚度測試 4 5.2 表面晶向測試 8 5.3 晶格常數測試 9 5.4 表面平整度測試 10 5.5 表面粗糙度測試 12 5.6 材料電學參數測試 13 5.7 少數載流子壽命測試 16 5.8 位錯密度測試 18 5.9 表面缺陷密度測試 20 5.10 X射線雙晶衍射半峰寬測試 20 5.11 X射線形貌測試 22 5.12 材料性能非均勻性測試 23 6 空間環境下材料抗輻照性能測試方法 24 6.1 試驗條件 24 6.2 材料抗輻照性能參數測試 24 7 材料參數的精密度、精確度和不確定度測試方法 24 8 測試設備要求 24 附錄A (規范性附錄) 材料的光學常數 25 附錄B(規范性附錄) 縱向組分梯度分布的碲鎘汞外延材料透過率Ta+ 和反射率Ra- 的計算 26 附錄C (資料性附錄) 激光干涉儀原理 29 附錄D (資料性附錄) 位錯密度測量值的標準均方差與腐蝕坑計數平均值的關系 30 參考文獻 31 |
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