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蒸發鍍膜設備基本參數系列
蒸發鍍膜設備基本參數系列 修訂
Basic parameter series of evaporation plating equipment
標準號：SJ/T 11131-1997
基本信息
標準號：SJ/T 11131-1997
發布時間：1997-09-03
實施時間：1998-01-01
首發日期：
出版單位：電子工業部標準化研究查看詳情>
起草人：陳華先、譚麗、康開麗
出版機構：電子工業部標準化研究
標準分類： 技術管理
ICS分類：電子元件綜合
起草單位：成都南光實業股份有限公司
歸口單位：電子工業部標準化研究所
發布部門：中華人民共和國電子工業部
標準簡介
本標準規定了蒸發鍍膜設備基本參數系列。本標準適用于極限壓力為3 x 10-3P二一5 x ]0-6P:范圍內的鐘罩式和箱式蒸發鍍膜設備。
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