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電子工業用氣體 氨 現行

Gas for electronic industry—Ammonia

標準號：GB/T 14601-2009

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基本信息

標準號：GB/T 14601-2009
發布時間：2009-10-30
實施時間：2010-05-01
首發日期：1993-08-26
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：孫福楠、劉澤軍、付永成、謝國清、周鵬云
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
起草單位：大連光明化工研究院、中國西南油氣田成都天然氣化工總廠、武漢市鼎立化工有限責任公司、西南化工研究設計院
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國半導體設備和材料標準化技術委員會

標準簡介

本標準規定了氨的技術要求,試驗方法,檢驗規則及產品的包裝、標志、運輸、貯存及安全要求。本標準適用于半導體工業,氮化硅、氮化鎵的化學氣相淀積,也可用于硅或氧化硅的氮化。

標準摘要

本標準代替GB/T14601-1993《電子工業用氣體 氨》。
本標準與GB/T14601-1993相比主要變化如下:
---修改標準的名稱;
---修改適用范圍(GB/T14601-1993的第1章,本版的第1章);
---修改規范性引用文件(GB/T14601-1993的第2章,本版的第2章);
---修改技術指標內容(GB/T14601-1993的第3章,本版的第3章);
---增加對氨尾氣處理的要求(見4.3);
---刪去按GB5831規定的方法測定氧含量(GB/T14601-1993的4.2.1);
---修改氧、氮、一氧化碳含量的測定(GB/T14601-1993的4.2、4.3、4.4,本版的4.4);
---增加氫、氬含量的測定(見4.4);
---增加二氧化碳含量的測定(見4.4);
---修改烴含量的測定(GB/T14601-1993的4.5,本版的4.4);
---修改水含量的測定方法(GB/T14601-1993的4.6,本版的4.5);
---增加金屬離子的測定方法(見4.6);
---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T14601-1993的第6章、第7章,本版的第5章);
---增加規范性附錄A,并把采用氦放電離子化氣相色譜法測定氨中的氫、氧(氬)、氮、一氧化碳、
二氧化碳和烴(C1~C3)含量組分的方法寫入該附錄(見附錄A)。
本標準的附錄A 為規范性附錄。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分會歸口。
本標準起草單位:大連光明化工研究院、中國西南油氣田成都天然氣化工總廠、武漢市鼎立化工有限責任公司、西南化工研究設計院。
本標準主要起草人:孫福楠、劉澤軍、付永成、謝國清、周鵬云。
本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:
---GB/T14601-1993。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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