表面化學分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測定 現行
Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy—Determination of lateral resolution
標準號：GB/T 28632-2012
基本信息
標準號：GB/T 28632-2012
發布時間：2012-07-31
實施時間：2013-02-01
首發日期：2012-07-31
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：徐建、陸敏、吳立敏、朱麗娜、辛立輝、何丹農、張冰
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 基礎標準與通用方法
ICS分類：化學分析
提出單位：全國微束分析標準化技術委員會(SAC/TC 38)
起草單位：上海市計量測試技術研究院、納米技術及應用國家工程研究中心
歸口單位：全國微束分析標準化技術委員會(SAC/TC 38)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國微束分析標準化技術委員會(SAC/TC 38)
標準簡介
本標準規定了三種條件下測量俄歇電子能譜儀和X射線光電子能譜儀橫向分辨率的方法。直邊法適用于橫向分辨率預期值大于1μm 的儀器。柵格法適合于橫向分辨率預期值大于20nm,小于1μm 的儀器。金島法則適用于橫向分辨率預期值小于50nm 的儀器。附錄A、附錄B和附錄C給出了測量橫向分辨率的帶圖的實例。
標準摘要
|
本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。 本標準采用翻譯法等同采用ISO18516:2006《表面化學分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測定》。 本標準由全國微束分析標準化技術委員會(SAC/TC38)提出并歸口。 本標準起草單位:上海市計量測試技術研究院、納米技術及應用國家工程研究中心。 本標準主要起草人:徐建、陸敏、吳立敏、朱麗娜、辛立輝、何丹農、張冰。 |
標準目錄
| 前言 Ⅰ 1 范圍 1 2 規范性引用文件 1 3 術語、定義、符號和縮略語 1 4 一般信息 2 5 直邊法測量橫向分辨率 3 6 柵格法測量橫向分辨率 8 7 金島法測量橫向分辨率 10 附錄A (資料性附錄) 帶聚焦X射線束斑的XPS儀器橫向分辨率測定 14 附錄B(資料性附錄) 二次電子線掃描譜橫向分辨率測定 16 附錄C (資料性附錄) 俄歇電子線掃描譜橫向分辨率測定 17 參考文獻 19 |
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