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俄歇電子能譜分析方法通則 現行

General rules for Auger electron spectroscopic analysis

標準號：GB/T 26533-2011

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基本信息

標準號：GB/T 26533-2011
發布時間：2011-05-12
實施時間：2011-12-01
首發日期：2011-05-12
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：姚文清、李展平、曹立禮、朱永法
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 電子光學與其他物理光學儀器
ICS分類：  37.020;17.180
提出單位：全國微束分析標準化技術委員會(SAC/TC 38)
起草單位：清華大學化學系
歸口單位：全國微束分析標準化技術委員會(SAC/TC 38)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國微束分析標準化技術委員會(SAC/TC 38)

標準簡介

本標準規定了以電子束為激發源的俄歇電子能譜(AES,AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。本標準適用于俄歇電子能譜儀。

標準摘要

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。
本標準由全國微束分析標準化技術委員會(SAC/TC38)提出并歸口。
本標準起草單位:清華大學化學系。
本標準主要起草人:姚文清、李展平、曹立禮、朱永法。

標準目錄

前言 Ⅲ
1 范圍 1
2 規范性引用文件 1
3 術語和定義 1
4 方法原理 1
5 儀器 2
5.1 儀器組成 2
5.2 儀器性能 3
6 樣品 3
7 分析步驟 4
7.1 能量標尺校正 4
7.2 AES定性分析及操作步驟 6
7.3 俄歇電子能譜的定量分析 6
7.4 深度剖析 7
7.5 元素化學態分析 7
8 分析結果的表述 7
8.1 俄歇全譜 7
8.2 窄譜 7
8.3 線掃描譜 7
8.4 深度剖析譜 7
8.5 多點顯微對比分析 8
8.6 樣品表面元素分布圖(Augermap) 8
8.7 分析結果表述方式 8
圖1 KL1L3 俄歇躍遷 2
圖2 俄歇電子能譜簡圖 2
圖3 Cu、Au和Al三個參考物質的直接譜和微分譜(相對能量分辨率0.3%) 5
表1 參考物質的俄歇電子動能參考值 4

替代情況

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引用標準

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采標情況

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