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表面化學分析 濺射深度剖析 用層狀膜系為參考物質的優化方法 現行

Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials

標準號:GB/T 20175-2006

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基本信息

標準號:GB/T 20175-2006
發布時間:2006-03-27
實施時間:2006-11-01
首發日期:2006-03-27
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:查良鎮、陳旭、王光普、黃雁華、黃天斌、劉林、葛欣、桂東
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 電子光學與其他物理光學儀器
ICS分類:化學分析
提出單位:全國微束分析標準化技術委員會
起草單位:清華大學電子工程系
歸口單位:全國微束分析標準化技術委員會
發布部門:國家標準化管理委員會
主管部門:國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準采用適當的單層和多層膜系參考物質,提供優化濺射深度剖析參數的指南。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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