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電子工業用氣體 硅烷
電子工業用氣體 硅烷 現行
Gas for electronic industry—Silane
標準號：GB/T 15909-2017
基本信息
標準號：GB/T 15909-2017
發布時間：2017-05-31
實施時間：2017-12-01
首發日期：
出版單位：中國質檢出版社查看詳情>
起草人：余京松、楊智敏、傅鑄紅、杜漢盛、孫福楠、牛艷東、李長富、周朋云、曲慶、方華、陳鷹、常俠、劉曉霞、周延江、高平洲、徐昕
出版機構：中國質檢出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
起草單位：西南化工研究設計院有限公司、浙江賽林硅業有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、中昊光明化工研究設計院有限公司、高麥儀器公司、天津長蘆華信化工股份有限公司、大連大特氣體有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、上海計量測試研究院、化工氣體質檢中心等
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會(SAC/TC 203/SC 1)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了硅烷氣體的技術要求、試驗方法、標志、包裝、貯運及安全的內容。?本標準適用于硅化鎂法、氫化鋁鈉還原四氟化硅法、氯硅烷歧化工藝法制備的電子工業用硅烷。 它主要用于制作高純多晶硅、二氧化硅的低溫化學氣相淀積、氮化硅化學氣相淀積、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質或同質硅外延生長原料以及離子注入源和激光介質等，還可用于制作太陽能電池、光導纖維和光電傳感器等。?分子式：SiH?4。?相對分子質量：32.117（按2011年國際相對原子質量）。?
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