當前位置：
首頁 >
電子工業用氣體 鍺烷
電子工業用氣體 鍺烷 現行
Gas for electronic industry—Germane
標準號：GB/T 31987-2015
基本信息
標準號：GB/T 31987-2015
發布時間：2015-09-11
實施時間：2016-05-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：方華、裴友宏、郭秀麗、林宇巍、陳熔、周鵬云
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)
起草單位：上海華愛色譜分析技術有限公司、佛山市華特氣體有限公司、中昊光明化工研究設計院有限公司、國家化學工業氣體產品質量監督檢驗中心(福建)、西南化工研究設計院有限公司
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了鍺烷的技術要求、試驗方法、標志、包裝、貯運和安全。本標準適用于氯化鍺還原、電解氧化鍺的硫酸溶液、鍺鎂合金與鹽酸反應等方法得到的鍺烷產品。它用于化學試劑、制取高純度鍺、化學氣相淀積、擴散、非晶硅、外延、離子注入等領域。分子式:GeH4。相對分子質量:76.662(按2011年國際相對原子質量計算)。
標準摘要
|
本標準按照 GB/T1.1—2009給出的規則起草。 請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任。 本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。 本標準起草單位:上海華愛色譜分析技術有限公司、佛山市華特氣體有限公司、中昊光明化工研究設計院有限公司、國家化學工業氣體產品質量監督檢驗中心(福建)、西南化工研究設計院有限公司。 本標準主要起草人:方華、裴友宏、郭秀麗、林宇巍、陳熔、周鵬云。 |
推薦檢測機構
申請入駐
暫未檢測到相關機構，邀您申請入駐~
推薦認證機構
申請入駐
暫未檢測到相關機構，邀您申請入駐~
推薦培訓機構
申請入駐
暫未檢測到相關機構，邀您申請入駐~
? 2018 北京寰標偉業科技發展有限公司版權所有并保留所有權利。
ICP備案證書號：京ICP備17031081號-1 客服電話：010-62050868
