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表面化學分析 二次離子質譜 用多δ層參考物質評估深度分辨參數的方法 現行

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

標準號：GB/T 22572-2008

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基本信息

標準號：GB/T 22572-2008
發布時間：2008-12-11
實施時間：2009-10-01
首發日期：2008-12-11
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：馬農農、何友琴、何秀坤
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 基礎標準與通用方法
ICS分類：化學分析
提出單位：全國微束分析標準化技術委員會
起草單位：信息產業部專用材料質量監督檢驗中心
歸口單位：全國微束分析標準化技術委員會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準詳細說明了在SIMS深度剖析中，用多δ層參考物質評估前沿衰變長度、后沿衰變長度和高斯展寬三個深度分辨參數的步驟。由于樣品表面的物理和化學態受一次入射離子影響而不穩定，本標準不適用于近表面區域的δ層。

標準摘要

本標準等同采用ＩＳＯ２０３４１：２００３《表面化學分析———二次離子質譜———用多δ層參考物質評估深度分辨參數的方法》。
為便于使用，本標準對ＩＳＯ２０３４１：２００３做了下列編輯性修改：
———刪除了原國際標準的前言部分；
———將本國際標準改為本標準。
本標準的附錄Ａ 為規范性附錄。
本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口。
本標準負責起草單位：信息產業部專用材料質量監督檢驗中心。
本標準主要起草人：馬農農、何友琴、何秀坤。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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