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微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 方阻測定 現(xiàn)行

Test methods of precious metals pastes used for microelectronics Determination of sheet resistance

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 17473.3-2008

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 17473.3-2008
發(fā)布時間：2008-03-31
實施時間：2008-09-01
首發(fā)日期：1998-08-19
出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：金勿毀、劉繼松、李文琳、陳伏生、朱武勛、李晉
出版機構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 貴金屬及其合金
ICS分類：其他有色金屬及其合金
提出單位：中國有色金屬工業(yè)協(xié)會
起草單位：貴研鉑業(yè)股份有限公司
歸口單位：全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
發(fā)布部門：中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
主管部門：中國有色金屬工業(yè)協(xié)會

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了微電子技術(shù)用貴金屬漿料中方阻的測定方法。本部分適用于微電子技術(shù)用貴金屬漿料方阻的測定。 本標(biāo)準(zhǔn)是對ＧＢ／Ｔ１７４７３—１９９８《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法》（所有部分）的整合修訂，分為７個部分.本部分為ＧＢ／Ｔ１７４７３—２００８的第３部分。本部分代替ＧＢ／Ｔ１７４７３．３—１９９８《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法　方阻測定》。本部分與ＧＢ／Ｔ１７４７３．３—１９９８相比，主要有如下變動：———將原標(biāo)準(zhǔn)名稱修改為微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法　方阻測定；———增加低溫固化型漿料方阻的測定方法；———原標(biāo)準(zhǔn)的原理中，“將漿料用絲網(wǎng)印刷在陶瓷基片，經(jīng)過燒結(jié)后，膜層在一定溫度及其厚度、寬度不變的情況下……”修改為：“將漿料用絲網(wǎng)印刷在陶瓷基片或有機樹脂基片上，經(jīng)過燒結(jié)或固化后，膜層在一定溫度及厚度、寬度不變的情況下”；———測厚儀修改為：光切顯微測厚儀用于燒結(jié)型漿料：范圍為０ｍｍ～５ ｍｍ，精度為０．００１ ｍｍ。千分尺用于固化型漿料：范圍為０ｍｍ～５ｍｍ，精度為０．００１ｍｍ。

標(biāo)準(zhǔn)摘要

本標(biāo)準(zhǔn)是對GB/T17473-1998《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法》(所有部分)的整合修訂,分為7個部分:
---GB/T17473.1-2008 微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 固體含量測定;
---GB/T17473.2-2008 微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 細(xì)度測定;
---GB/T17473.3-2008 微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 方阻測定;
---GB/T17473.4-2008 微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 附著力測試;
---GB/T17473.5-2008 微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 粘度測定;
---GB/T17473.6-2008 微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 分辨率測定;
---GB/T17473.7-2008 微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 可焊性、耐焊性測定。
本部分為GB/T17473-2008的第3部分。
本部分代替GB/T17473.3-1998《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 方阻測定》。
本部分與GB/T17473.3-1998相比,主要有如下變動:
---將原標(biāo)準(zhǔn)名稱修改為微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 方阻測定;
---增加低溫固化型漿料方阻的測定方法;
---原標(biāo)準(zhǔn)的原理中,將漿料用絲網(wǎng)印刷在陶瓷基片,經(jīng)過燒結(jié)后,膜層在一定溫度及其厚度、寬度不變的情況下……修改為:將漿料用絲網(wǎng)印刷在陶瓷基片或有機樹脂基片上,經(jīng)過燒結(jié)或固化后,膜層在一定溫度及厚度、寬度不變的情況下;
---測厚儀修改為:光切顯微測厚儀用于燒結(jié)型漿料:范圍為0mm~5 mm,精度為0.001 mm。
千分尺用于固化型漿料:范圍為0mm~5mm,精度為0.001mm。
本部分的附錄A 為規(guī)范性附錄。
本部分由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出。
本部分由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口。
本部分由貴研鉑業(yè)股份有限公司負(fù)責(zé)起草。
本部分主要起草人:金勿毀、劉繼松、李文琳、陳伏生、朱武勛、李晉。
本部分所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:
---GB/T17473.3-1998。

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