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X光電子能譜中荷電控制和荷電基準(zhǔn)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)指南

Standard guide to charge control and charge referencing techniques in X-ray photoelectron spectroscopy
標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 31472-2015
基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 31472-2015
發(fā)布時(shí)間:2015-05-15
實(shí)施時(shí)間:2016-01-01
首發(fā)日期:
出版單位:中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人:李雨辰、何秀坤、劉筠、劉兵、李翔
出版機(jī)構(gòu):中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類: 綜合測試系統(tǒng)
ICS分類:電和磁量值的測量
提出單位:全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)
起草單位:信息產(chǎn)業(yè)專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、蘇州晶瑞化學(xué)有限公司、天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司
歸口單位:全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)
發(fā)布部門:中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
主管部門:國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
標(biāo)準(zhǔn)簡介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了 X射線光電子能譜(XPS)的荷電控制和荷電基準(zhǔn)技術(shù)。本標(biāo)準(zhǔn)適用于 XPS荷電控制和荷電定位技術(shù),不適用于其他電子激發(fā)系統(tǒng)。
標(biāo)準(zhǔn)摘要
本標(biāo)準(zhǔn)按照 GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。 本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)提出并歸口。 本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:信息產(chǎn)業(yè)專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、蘇州晶瑞化學(xué)有限公司、天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司。 本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:李雨辰、何秀坤、劉筠、劉兵、李翔。 |
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