
Surface chemical analysis—High-resolution Auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental and chemical-state analysis
標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 29731-2013
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用于表面元素和化學(xué)態(tài)分析的俄歇電子能譜的動能標(biāo)校準(zhǔn)方法。并且還規(guī)定了校準(zhǔn)日程安排,用于在中間某一能量值測試動能標(biāo)線性、在高低動能區(qū)各取一點確認(rèn)標(biāo)尺校準(zhǔn)的不確定度、校正標(biāo)尺小漂移以及規(guī)定在95%置信度時該動能標(biāo)校準(zhǔn)的擴展不確定度(這個不確定度包括實驗室之間研究中觀察到的各種現(xiàn)象,但不涵蓋所有可能的缺陷)。本標(biāo)準(zhǔn)僅適用于配備濺射清潔離子槍的儀器。不適用于以下情況的儀器:動能標(biāo)尺的誤差隨能量明顯非線性變化;工作于譜儀的相對分辨率低于0.2%的固定ΔE/E 模式或固定ΔE 為1.5eV 模式時,要求容差極限為±0.05eV 或更小。也不適用于電子槍不能在5keV~10keV 能量范圍操作的儀器。本標(biāo)準(zhǔn)不提供全標(biāo)尺校準(zhǔn)檢驗,該檢驗要對每一個在能量標(biāo)尺上能設(shè)定的點加以驗證,且應(yīng)按儀器制造商的推薦程序進(jìn)行。
本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。 本標(biāo)準(zhǔn)使用重新起草法修改采用ISO17974:2002《表面化學(xué)分析 高分辨俄歇電子能譜儀 元素和化學(xué)態(tài)分析用能量標(biāo)校準(zhǔn)》。 本標(biāo)準(zhǔn)與ISO17974:2002技術(shù)差異及其原因如下: ———關(guān)于規(guī)范性引用文件,本標(biāo)準(zhǔn)做了具有技術(shù)性差異的調(diào)整,以適應(yīng)我國的技術(shù)條件,調(diào)整的情況集中反映在第2章“規(guī)范性引用文件”中,具體調(diào)整如下: ● 用GB/T22461—2008代替ISO18115:2001,IDT; ● 增加了GB/T27025—2008代替ISO17025—2005,MOD。 本標(biāo)準(zhǔn)還做了下列編輯性修改: ———將標(biāo)準(zhǔn)名稱修改為《表面化學(xué)分析 高分辨俄歇電子能譜儀 元素和化學(xué)態(tài)分析用能量標(biāo)校準(zhǔn)》; ———將縮略語、圖、表、公式、附注等進(jìn)行規(guī)范性修改。 本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC38)提出并歸口。 本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:清華大學(xué)、廈門大學(xué)。 本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:姚文清、王水菊、張占男、牟豪杰、李展平、朱永法。 |
前言 Ⅰ 引言 Ⅱ 1 范圍 1 2 規(guī)范性引用文件 1 3 術(shù)語和定義 1 4 符號和縮略語 1 5 方法概述 2 6 校準(zhǔn)能量標(biāo)步驟 5 附錄A (規(guī)范性附錄) 以0.1eV能量間隔對譜峰進(jìn)行Savitzky-Golay單次平滑時的最大點數(shù) 16 附錄B(規(guī)范性附錄) 用一種簡單的計算方法對峰動能作最小二乘法確定 17 附錄C(資料性附錄) 不確定度的推導(dǎo) 19 附錄D(資料性附錄) 對測得的動能不確定度的引用 21 參考文獻(xiàn) 23 |
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