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電子工業用氣體 三氟甲烷
電子工業用氣體 三氟甲烷 現行
Gas for electronic industry—Trifluoromethane
標準號：GB/T 34085-2017
基本信息
標準號：GB/T 34085-2017
發布時間：2017-07-31
實施時間：2017-11-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：陳熔、林宇巍、傅鑄紅、杜漢盛、葉紅艷、牛艷東、史婉君、孫福楠、曲慶、方華、王鴻、崔學文、周朋云
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
起草單位：國家化學工業氣體產品質量監督檢驗中心(福建)、廣東華特氣體股份有限公司、浙江巨化股份有限公司、高麥儀器公司、浙江省化工研究院、中昊光明化工研究設計院有限公司、大連大特氣體有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、東莞市聯臣電子科技有限公司等
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了電子工業用三氟甲烷的技術要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氫為原料制備的三氟甲烷產品。它在電子工業等離子蝕刻工藝中作為蝕刻氣體。
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