光伏電池用硅材料中B、Al受主雜質含量的二次離子質譜測量方法 現行
Test method for measuring boron and aluminium in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
標準號：GB/T 29851-2013
基本信息
標準號：GB/T 29851-2013
發布時間：2013-11-12
實施時間：2014-04-15
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：何友琴、馬農農、王東雪、何秀坤、裴會川、馮亞彬、張雪囡
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 元素半導體材料
ICS分類：半導體材料
起草單位：信息產業專用材料質量監督檢驗中心、中國電子技術標準化研究院、國家電子功能與輔助材料質量監督檢驗中心、天津市環歐半導體材料技術有限公司
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
標準簡介
本標準規定了用二次離子質譜儀(SIMS)測定光伏電池用硅材料中硼和鋁含量的方法。本標準適用于光伏電池用硅材料中受主雜質硼和鋁含量的定量分析,其中硼和鋁的濃度均大于1×1013atoms/cm3。其他受主雜質的測量也可參照本標準。
標準摘要
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本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。 請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任。 本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。 本標準起草單位:信息產業專用材料質量監督檢驗中心、中國電子技術標準化研究院、國家電子功能與輔助材料質量監督檢驗中心、天津市環歐半導體材料技術有限公司。 本標準主要起草人:何友琴、馬農農、王東雪、何秀坤、裴會川、馮亞彬、張雪囡。 |
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