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吸氣劑金屬釋放特性測(cè)試方法

Test methods for metal releasing characteristics of getters
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 25495-2010
基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 25495-2010
發(fā)布時(shí)間:2010-12-01
實(shí)施時(shí)間:2011-05-01
首發(fā)日期:1986-07-25
出版單位:中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人:薛函迎、郭衛(wèi)斌、張巨先、劉筠
出版機(jī)構(gòu):中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi): 電子技術(shù)專(zhuān)用材料
ICS分類(lèi):
31.030
提出單位:全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
起草單位:南京華東賽斯真空材料有限公司、工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究所、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十二研究所
歸口單位:全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布部門(mén):中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門(mén):全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了吸氣劑金屬釋放特性測(cè)試方法,如釋汞吸氣劑的總釋汞量、標(biāo)準(zhǔn)釋汞量、釋汞特性曲線(xiàn)及熱穩(wěn)定性的測(cè)試方法、蒸散型鋇吸氣劑得鋇量的測(cè)試方法、摻氮吸氣劑鋇膜分布測(cè)試方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于真空器件用吸氣劑。
標(biāo)準(zhǔn)摘要
本標(biāo)準(zhǔn)是將以下標(biāo)準(zhǔn)整合后進(jìn)行修訂的: ———GB/T6626.1—1986《釋汞吸氣劑性能測(cè)試方法 釋汞吸氣劑釋汞特性的測(cè)試方法》; ———GB/T9506.6—1988《摻氮吸氣劑鋇膜分布測(cè)試方法》; ———GB/T9506.2—1988《蒸散型鋇吸氣劑得鋇量測(cè)試方法》。 本標(biāo)準(zhǔn)與原標(biāo)準(zhǔn)相比主要變化如下: ———取消釋汞吸氣劑釋汞特性的測(cè)試方法中的名詞術(shù)語(yǔ),在規(guī)范性引用文件中新增GB/T4314《吸氣劑術(shù)語(yǔ)》; ———將GB/T6626.1—1986《釋汞吸氣劑性能測(cè)試方法 釋汞吸氣劑釋汞特性的測(cè)試方法》與GB/T9506.2—1988《蒸散型鋇吸氣劑得鋇量測(cè)試方法》中的測(cè)試系統(tǒng)、方法合并; ———取消試驗(yàn)設(shè)備中的無(wú)脂球閥; ———將試驗(yàn)中測(cè)試室的尺寸按使用用途分類(lèi)改為按金屬釋放量分類(lèi); ———將釋汞量、得鋇量加熱完后稱(chēng)重時(shí)間由15min更改為5min內(nèi); ———釋汞特性曲線(xiàn)的測(cè)試由400℃開(kāi)始提高到500℃開(kāi)始; ———取消平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差的計(jì)算方法; ———取消得鋇量一致性測(cè)試; ———取消測(cè)試報(bào)告格式; ———將GB/T9506.2—1988《蒸散型鋇吸氣劑得鋇量測(cè)試方法》中的蒸散曲線(xiàn)繪制方法中的起蒸時(shí)間的控制表述進(jìn)行修訂; ———根據(jù)GB/T1.1—2000的要求進(jìn)行格式修訂。 本標(biāo)準(zhǔn)代替下列標(biāo)準(zhǔn): ———GB/T6626.1—1986《釋汞吸氣劑性能測(cè)試方法 釋汞吸氣劑釋汞特性的測(cè)試方法》; ———GB/T9506.6—1988《摻氮吸氣劑鋇膜分布測(cè)試方法》; ———GB/T9506.2—1988《蒸散型鋇吸氣劑得鋇量測(cè)試方法》。 本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口。 本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:南京華東賽斯真空材料有限公司、工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究所、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十二研究所。 本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:薛函迎、郭衛(wèi)斌、張巨先、劉筠。 本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為: ———GB/T6626.1—1986; ———GB/T9506.6—1988; ———GB/T9506.2—1988。 |
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