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微機電系統（MEMS）技術　術語 現行

Micro-electromechanical system technology—Terms

標準號：GB/T 26111-2010

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基本信息

標準號：GB/T 26111-2010
發布時間：2011-01-10
實施時間：2011-10-01
首發日期：2011-01-10
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：丁紅宇、劉偉、張蘋、崔波、楊擁軍、葉雄英、陳迪、石云波
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 微電路綜合
ICS分類：集成電路、微電子學
提出單位：全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC 336)
起草單位：中機生產力促進中心、中國電子科技集團第13研究所、清華大學、上海交通大學、中北大學
歸口單位：全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC 336)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC 336)

標準簡介

本標準規定了微機電系統領域所涉及的材料、設計、加工、封裝、測量以及器件等方面的通用術語和定義。本 標準適用于微機電系統領域的研究、開發、評測和應用。

標準摘要

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。
本標準由全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC336)提出并歸口。
本標準主要起草單位:中機生產力促進中心、中國電子科技集團第13研究所、清華大學、上海交通大學、中北大學。
本標準主要起草人:丁紅宇、劉偉、張蘋、崔波、楊擁軍、葉雄英、陳迪、石云波。

標準目錄

前言 Ⅲ
1 范圍 1
2 規范性引用文件 1
3 術語和定義 1
3.1 綜合性術語 1
3.2 科學與工程術語 2
3.3 與材料相關的術語 3
3.4 與設計相關的術語 4
3.5 與加工工藝相關的術語 7
3.6 封裝與組裝術語 10
3.7 測量技術術語 13
3.8 與器件相關的術語 15
參考文獻 22
索引 23
漢語拼音索引 23
英文對應詞索引 27

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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