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電子工業(yè)用氣體 高純氯 已作廢

Gases for electronic industry—High purity chlorine

標準號：GB/T 18994-2003

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基本信息

標準號：GB/T 18994-2003
發(fā)布時間：2003-03-05
實施時間：2003-08-01
首發(fā)日期：2003-03-05
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：孔祥芝、佘中玉
作廢日期：2015-07-01
出版機構(gòu)：中國標準出版社
標準分類： 工業(yè)氣體與化學氣體
ICS分類：工業(yè)氣體
提出單位：原化學工業(yè)部
起草單位：光明化工研究設計院
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術(shù)委員會
發(fā)布部門：中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氣體高純氯產(chǎn)品的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗以及包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。本標準適用于以工業(yè)液氯為原料，采用物理吸附等過程生產(chǎn)的高純氯產(chǎn)品。該產(chǎn)品主要用于大規(guī)模集成電路、光導纖維、高溫超導、鋁加工等高新技術(shù)領(lǐng)域。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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