光掩模對準標記規范 現行
Specification for registration marks for photomasks
標準號：GB/T 16524-1996
基本信息
標準號：GB/T 16524-1996
發布時間：1996-09-09
實施時間：1997-05-01
首發日期：1996-09-09
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 電子工業生產設備綜合
ICS分類：集成電路、微電子學
起草單位：中國科學院微電子中心
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：國家技術監督局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本規范規定了所有光掩模上使用的對準標記的形狀、尺寸范圍和一般位置。本規范適用于光掩模。
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