
Test methods of precious metal pastes used for microelectronics - Determination of resolution
標準號:GB/T 17473.6-2008
本標準代替GB/T17473—1998 《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法》(所有部分),本標準分為7個部分,本部分為GB/T17473—2008的第6部分。 本部分規(guī)定了微電子技術(shù)用貴金屬漿料分辨率的測定方法。本部分適用于微電子技術(shù)用貴金屬漿料的分辨率測定。 本部分代替GB/T17473.6—1998 《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 分辨率測定》。本部分與GB/T17473.6—1998相比,主要有如下變動:———將原標準名稱修改為微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 分辨率測定;———增加了固化型貴金屬漿料分辨率測定的內(nèi)容;———原“光刻膜絲網(wǎng)網(wǎng)徑2025μm 不銹鋼絲網(wǎng)”改為“光刻膜絲網(wǎng),絲網(wǎng)孔徑不大于54μm”;———增加6.3將印有固化型的試樣按其規(guī)定的工藝要求進行靜置、烘干、固化,固化后試樣膜厚控制在1μm~15μm;———分辨率規(guī)格分級重新定義為0.1mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm 五個級別。
本標準代替GB/T17473-1998 《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法》(所有部分),本標準分為7個部分: ---GB/T17473.1-2008 微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 固體含量測定; ---GB/T17473.2-2008 微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 細度測定; ---GB/T17473.3-2008 微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 方阻測定; ---GB/T17473.4-2008 微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 附著力測試; ---GB/T17473.5-2008 微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 粘度測定; ---GB/T17473.6-2008 微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 分辨率測定; ---GB/T17473.7-2008 微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 可焊性、耐焊性測定。 本部分為GB/T17473-2008的第6部分。 本部分代替GB/T17473.6-1998 《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 分辨率測定》。 本部分與GB/T17473.6-1998相比,主要有如下變動: ---將原標準名稱修改為微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 分辨率測定; ---增加了固化型貴金屬漿料分辨率測定的內(nèi)容; ---原光刻膜絲網(wǎng)網(wǎng)徑2025μm 不銹鋼絲網(wǎng)改為光刻膜絲網(wǎng),絲網(wǎng)孔徑不大于54μm; ---增加6.3將印有固化型的試樣按其規(guī)定的工藝要求進行靜置、烘干、固化,固化后試樣膜厚控制在1μm~15μm; ---分辨率規(guī)格分級重新定義為0.1mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm 五個級別。 本部分由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出。 本部分由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會負責(zé)歸口。 本部分由貴研鉑業(yè)股份有限公司負責(zé)起草。 本部分起草人:劉成、趙汝云、陳伏生、馬曉峰、劉繼松、朱武勛。 本部分所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為: ---GB/T17473.6-1998。 |
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