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電子工業用氣體 六氟化鎢 現行

Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride

標準號：GB/T 32386-2015

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基本信息

標準號：GB/T 32386-2015
發布時間：2015-12-31
實施時間：2016-07-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：鄭秋艷、江海風、王占衛、方蘭蘭、林竹光、王志信、方華、楊任、周鵬云
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
起草單位：中國船舶重工集團公司第七一八研究所、廈門鎢業股份有限公司、西南化工研究設計院有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、上海儀盟電子科技有限公司
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)

標準簡介

本標準規定了六氟化鎢的技術要求、試驗方法、包裝、標志、貯運和安全。本標準適用于化學合成法制取并經精制純化的六氟化鎢。該產品主要用于電子工業中金屬鎢化學氣相沉積工藝、鎢材料的制備等。分子式:WF6。分子量:297.8304192(按2009年國際相對原子質量計算)。

標準摘要

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。
本標準起草單位:中國船舶重工集團公司第七一八研究所、廈門鎢業股份有限公司、西南化工研究設計院有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、上海儀盟電子科技有限公司。
本標準主要起草人:鄭秋艷、江海風、王占衛、方蘭蘭、林竹光、王志信、方華、楊任、周鵬云。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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