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電子工業(yè)用氣體 高純氯 現(xiàn)行

Gases for electronic industry—High purity chlorine

標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 18994-2014

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 18994-2014
發(fā)布時間:2014-12-22
實施時間:2015-07-01
首發(fā)日期:
出版單位:中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人:周鵬云、常俠、廖恒易、方華、劉新明、汪正宏、楊任
出版機構(gòu):中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類: 工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類:工業(yè)氣體
提出單位:全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)
起草單位:西南化工研究設(shè)計院有限公司、光明化工研究設(shè)計院有限公司、佛山市華特氣體有限公司、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、太和氣體(荊州)有限公司、上海儀盟科技有限公司
歸口單位:全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)
發(fā)布部門:中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
主管部門:國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了高純氯的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及包裝、標(biāo)志、運輸和儲存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以工業(yè)液氯為原料,采用物理吸附等過程生產(chǎn)的高純氯產(chǎn)品。該產(chǎn)品主要用于大規(guī)模集成電路、光導(dǎo)纖維、高溫超導(dǎo)、平板顯示器、太陽能等技術(shù)領(lǐng)域。分子式:Cl2。相對分子質(zhì)量:70.90(按2009年國際相對原子質(zhì)量計算)。

標(biāo)準(zhǔn)摘要

本標(biāo)準(zhǔn)按照 GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。
本標(biāo)準(zhǔn)代替 GB/T18994—2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》。與 GB/T18994—2003相比,除編輯性修改外主要技術(shù)內(nèi)容變化如下:
———修改了范圍(見第1章,2003年版的第1章);
———修改了規(guī)范性引用文件(見第2章,2003年版的第2章);
———修改了技術(shù)要求(見第3章,2003年版的第3章);
———修改了抽樣、判定(見4.1,2003年版的第5章);
———刪去了取樣裝置的規(guī)定(2003年版的4.1);
———修改了氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、烴含量的測定方法(見4.3,2003年版的4.3、4.4);
———增加了氫含量的測定方法(見4.3);
———修改了水分含量的測定方法(見4.4,2003年版的4.5);
———增加了金屬元素含量的測定方法(見4.5);
———修改了標(biāo)志、包裝、貯運及安全(見第5章,2003年版的第6、7章)。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)提出并歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:西南化工研究設(shè)計院有限公司、光明化工研究設(shè)計院有限公司、佛山市華特氣體有限公司、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、太和氣體(荊州)有限公司、上海儀盟科技有限公司。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:周鵬云、常俠、廖恒易、方華、劉新明、汪正宏、楊任。
本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:
———GB/T18994—2003。

替代情況

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引用標(biāo)準(zhǔn)

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