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銀靶現行

Silver target

標準號：GB/T 26307-2010

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基本信息

標準號：GB/T 26307-2010

發布時間：2011-01-14

實施時間：2011-11-01

首發日期：2011-01-14

出版單位：中國標準出版社查看詳情>

起草人：閆琳、楊華、李蕊、楊永剛、雷繼鋒、熊曉東、江軒

出版機構：中國標準出版社

標準分類：貴金屬及其合金

ICS分類：其他有色金屬及其合金

起草單位：北京有研億金新材料股份有限公司

歸口單位：全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)

發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局中國國家標準化管理委員會

主管部門：全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)

標準簡介

本標準規定了銀靶的要求、試驗方法、檢驗規則和標志、包裝、運輸、貯存及質量證明書與訂貨單(或合同)內容。本標準適用于半導體器件用的各類銀濺射靶材(以下簡稱銀靶)。其他用途的靶材也可參照使用。

標準摘要

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC243)歸口。
本標準由北京有研億金新材料股份有限公司負責起草。
本標準主要起草人:閆琳、楊華、李蕊、楊永剛、雷繼鋒、熊曉東、江軒。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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