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氣體質量流量控制器通用技術條件
氣體質量流量控制器通用技術條件 已作廢
General specification for gas mass flow controller
標準號：SJ/T 10583-1994
基本信息
標準號：SJ/T 10583-1994
發布時間：1994-08-08
實施時間：1994-12-01
首發日期：
起草人：龔光祥、劉學儉、錢祖權
作廢日期：2016-09-01
標準分類： 檢驗裝用設備
提出單位：中華人民共和國電子工業部
起草單位：北京建中機器廠
歸口單位：電子工業部標準化研究所
發布部門：中華人民共和國電子工業部
標準簡介
本標準規定了氣體質量流量控制器的技術要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸、貯存。本標準適用于采用毛細管傳熱溫差量熱法原理進行測量的氣體質量流量控制器（以下簡稱控制器）。該控制器廣泛應用于半導體集成電路工藝設備、光纖熔煉，以及化工、冶金、衛生等部門。
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