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硅基MEMS制造技術(shù) 體硅壓阻加工工藝規(guī)范 現(xiàn)行

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process

標準號：GB/T 32815-2016

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基本信息

標準號：GB/T 32815-2016
發(fā)布時間：2016-08-29
實施時間：2017-03-01
首發(fā)日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：張大成、王瑋、李海斌、楊芳、黃賢、何軍、劉沖、劉偉、周再發(fā)、劉軍山、李婷、姜博巖
出版機構(gòu)：中國標準出版社
標準分類： 微電路綜合
ICS分類：集成電路、微電子學(xué)
提出單位：全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會(SAC/TC 336)
起草單位：北京大學(xué)、中機生產(chǎn)力促進中心、大連理工大學(xué)、東南大學(xué)、北京青鳥元芯微系統(tǒng)科技有限公司
歸口單位：全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會(SAC/TC 336)
發(fā)布部門：中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準規(guī)定了采用體硅壓阻工藝進行MEMS器件加工時應(yīng)遵循的工藝要求和質(zhì)量檢驗要求。 本標準適用于硅基MEMS制造技術(shù)中基于背腔腐蝕和硅玻璃鍵合的體硅壓阻加工工藝的加工和質(zhì)量檢驗。

替代情況

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引用標準

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本標準相關(guān)公告

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采標情況

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