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表面化學(xué)分析 工作參考物質(zhì)中離子注入產(chǎn)生的駐留面劑量定值的推薦程序 現(xiàn)行

Surface chemical analysis—Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 34174-2017

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 34174-2017
發(fā)布時間：2017-09-07
實(shí)施時間：2018-08-01
首發(fā)日期：
出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：邱麗美、劉芬、徐鵬、刁玉霞、趙志娟、章小余
出版機(jī)構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)與通用方法
ICS分類：化學(xué)分析
提出單位：全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
起草單位：中國科學(xué)院化學(xué)研究所、中國石化石油化工科學(xué)研究院、國家納米科學(xué)中心
歸口單位：全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
發(fā)布部門：中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

標(biāo)準(zhǔn)簡介

對表面分析用的工作參考物質(zhì)（WoRM)中離子注入原子序數(shù)大于硅的分析物元素，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了對其駐留面劑量進(jìn)行定值的程序。WoRM為組成均勻的、標(biāo)稱直徑不小于50 mm的拋光（或類似磨面)基片（也稱作基片)，并已離子注入一種基片上不存在的某種化學(xué)元素的同位素（也稱作分析物)，其標(biāo)稱面劑量范圍通常為1016 atoms/cm2至1013 atoms/cm2（即半導(dǎo)體技術(shù)中最感興趣的范圍)。WoRM晶片中離子注入分析物的面劑量，是通過與二級參考物質(zhì)（SeRM)硅片中注入相同分析物的駐留面劑量比較而進(jìn)行定值的。本標(biāo)準(zhǔn)提供了WoRM定值的概念和程序方面的信息。同時也有對參考物質(zhì)要求、比較測量和實(shí)際定值的描述。離子注入、離子注入劑量術(shù)、波長色散X射線熒光光譜和無法得到SeRM時的無證替代物的補(bǔ)充材料見附錄A到附錄D。定值過程中產(chǎn)生的不確定度來源和數(shù)值見附錄E。

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引用標(biāo)準(zhǔn)

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