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電子級(jí)水中二氧化硅的分光光度測試方法 已作廢

Test method for SiO2 in electronic grade water by spectrophotometer

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 11446.6-1997

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 11446.6-1997
發(fā)布時(shí)間：1997-09-01
實(shí)施時(shí)間：1998-09-01
首發(fā)日期：1989-06-22
起草人：
作廢日期：2014-08-15
標(biāo)準(zhǔn)分類： 電子技術(shù)專用材料
ICS分類：  31.030
起草單位：北京半導(dǎo)體器件三廠
歸口單位：信息產(chǎn)業(yè)部（電子）
發(fā)布部門：信息產(chǎn)業(yè)部（電子）
主管部門：信息產(chǎn)業(yè)部（電子）

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級(jí)水是二氧化硅的分光光度測定方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子級(jí)水中二氧化硅的測定，分析下限為1μg/L。

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