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電子薄膜用高純鋁及鋁合金濺射靶材 現行

High-purity sputtering aluminium and aluminium alloy target used in electronic film

標準號：GB/T 29658-2013

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基本信息

標準號：GB/T 29658-2013
發布時間：2013-09-06
實施時間：2014-05-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：萬小勇、羅俊鋒、廖贊、尚再艷、楊華、朱曉光、孫秀霖等
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 輕金屬及其合金
ICS分類：鋁和鋁合金
起草單位：有研億金新材料股份有限公司。
歸口單位：全國有色金屬標準化技術委員(SAC/TC 243)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國有色金屬標準化技術委員(SAC/TC 243)

標準簡介

本標準規定了電子薄膜制備用高純鋁及鋁合金靶材的要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸、存貯、訂貨單(或合同)等內容。本標準適用于電子薄膜用各類高純鋁及鋁合金濺射靶材(以下簡稱鋁靶)。

標準摘要

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。
本標準由全國有色金屬標準化技術委員(SAC/TC243)歸口。
本標準負責起草單位:有研億金新材料股份有限公司。
本標準參加起草單位:寧波江豐電子材料有限公司、新疆眾和股份有限公司。
本標準主要起草人:萬小勇、羅俊鋒、廖贊、尚再艷、楊華、朱曉光、孫秀霖、何金江、熊曉東、王興權、王學澤、錢紅兵、喻潔、劉杰、洪濤、努力古、宋玉萍。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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