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關鍵尺寸（CD）計量方法
基本信息
標準號：GB/T 17864-1999
發布時間：1999-09-01
實施時間：2000-06-01
首發日期：1999-09-13
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 半導體集成電路
ICS分類：集成電路、微電子學
起草單位：中國科學院微電子中心
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：國家質量技術監督局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準的目的是規定計量系統進行光刻工藝中CD圖形尺寸計量精確度的統一方法。本標準不涉及如何用這些計量系統去解決問題，也不涉及工藝中其他影響因素的變化，如大圓片的熱處理、曝光機的聚集控制、以及材料等。
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