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電子工業(yè)用氣體 六氟乙烷 現(xiàn)行

Gas for electronic industry—Hexafluoroethane

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 34091-2017

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 34091-2017
發(fā)布時(shí)間：2017-07-31
實(shí)施時(shí)間：2017-11-01
首發(fā)日期：
出版單位：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：史婉君、廖恒易、杜漢盛、白占旗、方正、潘義、牛艷東、方華、王鴻、陳熔、林宇巍、鄧建平、李健、周鵬云
出版機(jī)構(gòu)：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：工業(yè)氣體
提出單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)
起草單位：浙江省化工研究院有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、四川中測(cè)標(biāo)物科技有限公司、高麥儀器公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司、上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司、東莞市聯(lián)臣電子科技有限公司、國(guó)家化學(xué)工業(yè)氣體產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心(福建)、天津長(zhǎng)蘆華信化工股份有限公司等
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)
發(fā)布部門：中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用六氟乙烷的技術(shù)要求，試驗(yàn)方法、包裝、標(biāo)志、貯存、運(yùn)輸和安全。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于工業(yè)用六氟乙烷經(jīng)精制提純而得的高純六氟乙烷產(chǎn)品。主要在電子工業(yè)等離子蝕刻工藝中作為蝕刻氣體或作為電子器元件清洗劑。

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