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水平法砷化鎵單晶及切割片 現行

Horizontal bridgman grown gallium arsenide single crystal and cutting wafer

標準號：GB/T 11094-2007

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基本信息

標準號：GB/T 11094-2007
發布時間：2007-12-18
實施時間：2008-02-01
首發日期：1989-03-31
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：武壯文、王繼榮、張海濤、于洪國
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 化合物半導體材料
ICS分類：半導體材料
提出單位：中國有色金屬工業協會
起草單位：北京有色金屬研究總院
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：中國有色金屬工業協會

標準簡介

本標準規定了水平法砷化鎵單晶、單晶錠及切割片的要求、試驗方法及檢驗規則等。

標準摘要

本標準是對GB/T11094-1989《水平法砷化鎵單晶及切割片》的修訂。
本標準與原標準相比,主要變動如下:
---單晶生長方向上增加了近幾年在生產中大量使用的<110>晶帶上由<111>B 方向向最遠的<100>A 方向偏轉0°~20°生長單晶,明確提出了生長偏角由生產工藝參數決定;
---明確了晶錠作為單晶產品;
---切割片中取消了目前基本已被淘汰的直徑為40mm、50mm 以及矩形和D 形片的規定;
---增加了目前大量使用的直徑50.8mm、63.5mm 切割片和國際上少量使用的直徑76mm切割片的規定等等。
本標準實施之日代替GB/T11094-1989。
本標準由中國有色金屬工業協會提出。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會歸口。
本標準起草單位:北京有色金屬研究總院。
本標準主要起草人:武壯文、王繼榮、張海濤、于洪國。
本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:
---GB/T11094-1989。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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