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藍寶石單晶位錯密度測量方法
藍寶石單晶位錯密度測量方法 現行
Test method for dislocation density of sapphire single crystal
標準號：GB/T 33763-2017
基本信息
標準號：GB/T 33763-2017
發布時間：2017-05-31
實施時間：2017-12-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：薛抗美、黃修康、杭寅、尹繼剛、田野、張永波、張毅
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 金屬化學性能試驗方法
ICS分類：金屬材料試驗
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/TC 203/SC 2)
起草單位：江蘇協鑫軟控設備科技發展有限公司、中國科學院上海光學精密機械研究所、深圳市中安測標準技術有限公司
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/TC 203/SC 2)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了藍寶石單晶位錯密度的測量方法。? 本標準適用于拋光加工后位錯密度為0個/cm2～100 000個/cm2的藍寶石單晶位錯密度的測量，檢測面為{0001}、{1120}、{1012}、{1010}面。
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