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電子工業用氣體三氟化氮 現行

Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride

標準號：GB/T 21287-2007

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基本信息

標準號：GB/T 21287-2007
發布時間：2007-12-14
實施時間：2008-07-01
首發日期：2007-12-14
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：余啟富、宋再卿、劉新明、戴龍俠、方治文、牛學坤、金美蘭、任清貴、王少楠
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會(SAC/TC203/SC1)
起草單位：湖北沙隆達天門農化有限責任公司、中國船舶重工集團公司第七一八研究所、核工業理化工程研究院特氣中心、中核紅華特種氣體股份有限公司、黎明化工研究院等
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會(SAC/TC 203/SC 1)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準規定了瓶裝電子工業用氣體---三氟化氮的技術要求、試驗方法、檢驗規則及包裝、標志、運輸、儲存和安全。本標準適用于電子工業用三氟化氮。它主要用作電子工業中等離子體工藝等離子體刻蝕劑和化學氣相沉積的清洗劑。

標準摘要

本標準根據SEMI(半導體材料和設備國際組織)的《三氟化氮》(SEMIC3.39-0304)2004年版標準,并結合我國三氟化氮生產的實際情況制定。
本標準的附錄C 為規范性附錄,附錄A、附錄B、附錄D 為資料性附錄。
本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會(SAC/TC203/SC1)提出并歸口。
本標準由湖北沙隆達天門農化有限責任公司、中國船舶重工集團公司第七一八研究所負責起草。
本標準參加起草單位有:核工業理化研究院特氣中心、中核紅華特種氣體有限公司、黎明化工研究院、國家標準物質研究中心、西南化工研究設計院等。
本標準主要起草人:余啟富、宋再卿、劉新明、戴龍俠、方治文、牛學坤、金美蘭、任清貴、王少楠。
本標準為首次發布。

標準目錄

前言Ⅲ
1 范圍1
2 規范性引用文件1
3 要求1
4 試驗方法2
5 包裝、標志、貯運及安全5
附錄A(資料性附錄) 切割氣路流程示意圖7
附錄B(資料性附錄) 測定三氟化氮中一氧化碳的氣路切換裝置流程示意圖8
附錄C(規范性附錄) 可水解氟化物和總酸度的測定9
附錄D(資料性附錄) 三氟化氮的化學性質和物理參數12

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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