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電子工業用氣體 氧化亞氮 現行

Gas for electronic industry—Nitrous Oxide

標準號：GB/T 14600-2009

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基本信息

標準號：GB/T 14600-2009
發布時間：2009-10-30
實施時間：2010-05-01
首發日期：1993-08-26
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：周澤義、孫福楠、周鵬云
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
起草單位：中國計量科學研究院、西南化工研究設計院、大連光明化工研究院
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國半導體設備和材料標準化技術委員會

標準簡介

本標準規定了氧化亞氮的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于電子工業中化學氣相淀積工藝。

標準摘要

本標準代替GB/T14600-1993《電子工業用氣體 氧化亞氮》。
本標準與GB/T14600-1993相比主要變化如下:
---修改電子工業用氧化亞氮的適用范圍(GB/T14600-1993的第1章,本版的第1章);
---修改規范性引用文件(GB/T14600-1993的第2章,本版的第2章);
---修改技術指標內容(GB/T14600-1993的第3章,本版的第3章);
---增加電子工業用氧化亞氮采樣安全要求(見4.1.2);
---增加尾氣處理的要求(見4.3);
---修改一氧化碳、二氧化碳、烴C1~C5、氮、氧含量檢驗方法的檢測限和標準樣品的規定(GB/T14600-1993的4.4、4.5、4.6、4.7、4.8,本版的4.5、4.6、4.7、4.8);
---修改水分含量的檢驗方法(GB/T14600-1993的4.7,本版的4.11);
---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T14600-1993的第6章、第7章,本版的第5章)。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口。
本標準起草單位:中國計量科學研究院、西南化工研究設計院、大連光明化工研究院。
本標準主要起草人:周澤義、孫福楠、周鵬云。
本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:
---GB/T14600-1993。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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