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臥式液相外延系統通用規范
臥式液相外延系統通用規范 現行
Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system
標準號：SJ/T 11275-2002
基本信息
標準號：SJ/T 11275-2002
發布時間：2002-10-30
實施時間：2003-03-01
首發日期：
出版單位：工業電子出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：工業電子出版社
標準分類： 電子設備用絕緣零件
ICS分類：特殊工作條件用電氣設備
起草單位：中國電子科技集團公司第四十八所
標準簡介
本規范規定了臥式液相外延系統的術語、產品型號及命名方法、技術要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、運輸、貯存。本規范適用于電子行業光電子器件研制、生產工藝中的臥式液相外延系統。其他行業的類似設備亦可參照執行。
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