国产精品久久久在线观看_亚洲免费观看视频网站_国产盗摄视频一区二区三区_久久久国产一级 - 日本在线观看一区

歡迎來到寰標網！ 客服QQ：772084082 加入會員

電子工業用氣體 氬 現行

Gas for electronic industry—Argon

標準號：GB/T 16945-2009

獲取原文 如何獲取原文？問客服 獲取原文，即可享受本標準狀態變更提醒服務！
基本信息

標準號：GB/T 16945-2009
發布時間：2009-10-30
實施時間：2010-05-01
首發日期：1997-08-13
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：趙俊秀、周鵬云
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
起草單位：北京氦普北分氣體工業有限公司、西南化工研究設計院
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準規定了氬的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于以深冷法從空氣、合成氨尾氣中提取的液態和氣態氬以及經純化方法得到的氬。氬用于系統的吹掃、保護和增壓,它還可以用于化學汽相淀積、濺射、等離子及活性離子刻蝕劑和退火等不同工藝中。

標準摘要

本標準代替GB/T16945-1997《電子工業用氣體 氬》。
本標準與GB/T16945-1997相比主要變化如下:
---修改氬的適用范圍(GB/T16945-1997的第1章,本版的第1章);
---增加規范性引用文件(GB/T16945-1997的第2章,本版的第2章);
---修改技術指標內容:增加一類純度和雜質含量(GB/T16945-1997的第3章,本版的第3章);
---修改瓶裝氬抽樣方法(GB/T16945-1997的4.1.1,本版的4.1.1);
---增加集裝閣裝、大容積鋼質無縫氣瓶和杜瓦罐裝氬產品并規定檢驗方法(見4.1.1);
---修改管道輸送的氬抽樣方法(GB/T16945-1997的4.1.1,本版的4.1.2);
---增加氬的采樣安全要求(見4.1.3);
---修改氫、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的測定方法(GB/T16945-1997的4.3、4.4、4.5,本版的4.3);
---增加其他方法測定總烴;當出現多種分析方法時,增加規定仲裁方法(見4.3、4.4、4.5);
---修改水分的測定方法(GB/T16945-1997的4.7,本版的4.5);
---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T16945-1997的第5章,本版的第5章)。
本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會提出。
本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會歸口。
本標準起草單位:北京氦普北分氣體工業有限公司、西南化工研究設計院。
本標準主要起草人:趙俊秀、周鵬云。
本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:
---GB/T16945-1997。

替代情況

會員注冊/登錄后查看詳情

引用標準

會員注冊/登錄后查看詳情

本標準相關公告

會員注冊/登錄后查看詳情

采標情況

會員注冊/登錄后查看詳情

推薦檢測機構
申請入駐

暫未檢測到相關機構，邀您申請入駐~

推薦認證機構
申請入駐

暫未檢測到相關機構，邀您申請入駐~

推薦培訓機構
申請入駐

暫未檢測到相關機構，邀您申請入駐~