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硅片直徑測量方法 光學(xué)投影法 已作廢

Silicon slices and wafers-Measuring of diameter-Optical projecting method

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 14140.1-1993

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 14140.1-1993
發(fā)布時(shí)間：1993-02-06
實(shí)施時(shí)間：1993-10-01
首發(fā)日期：1993-02-06
起草人：
作廢日期：2010-06-01
標(biāo)準(zhǔn)分類： 半金屬
ICS分類：金屬材料試驗(yàn)綜合
起草單位：洛陽單晶硅廠
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布部門：國家技術(shù)監(jiān)督局
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用光學(xué)投影儀測量硅片直徑的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于測量圓形硅片的直徑。測量范圍為聲φ40～φ100mm本標(biāo)準(zhǔn)不適用于測量硅片的不圓度。本標(biāo)準(zhǔn)用作仲裁測量方法。

替代情況

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引用標(biāo)準(zhǔn)

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