當前位置：
首頁 >
電子工業用氣體 硅烷(SiH4)
電子工業用氣體 硅烷(SiH4) 已作廢
Gas for electronic industry－Silane
標準號：GB/T 15909-1995
基本信息
標準號：GB/T 15909-1995
發布時間：1995-01-02
實施時間：1996-08-01
首發日期：1995-12-20
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：
作廢日期：2010-05-01
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
起草單位：化工部西南化工研究院
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：國家技術監督局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了電子工業用硅烷氣體的技術要求、檢驗方法、檢驗規則、包裝、標志、運輸、貯存和安全要求等。本標準主要用于電子工業中多晶硅和單晶硅外延淀積、二氧化硅的低溫化學汽相淀積、非晶硅薄膜淀積等。
推薦檢測機構
申請入駐
暫未檢測到相關機構，邀您申請入駐~
推薦認證機構
申請入駐
暫未檢測到相關機構，邀您申請入駐~
推薦培訓機構
申請入駐
暫未檢測到相關機構，邀您申請入駐~
? 2018 北京寰標偉業科技發展有限公司版權所有并保留所有權利。
ICP備案證書號：京ICP備17031081號-1 客服電話：010-62050868
