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決絕緣砷化鎵單晶微區(qū)均勻性測試方法 現(xiàn)行

Test method for microzone homogeneity of semi-insulating monocrystal gallium arsenide

標準號：SJ 20844-2002

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基本信息

標準號：SJ 20844-2002
發(fā)布時間：2002-10-30
實施時間：2003-03-01
首發(fā)日期：
出版單位：工業(yè)電子出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：工業(yè)電子出版社
標準分類： 電子技術專用材料
起草單位：中國電子科技集團公司第四十六所

標準簡介

本標準規(guī)定了半絕緣砷化鎵晶片中電阻率、碳濃度、EL2濃度和PL譜微區(qū)均勻性測量方法。本標準適用于半絕緣砷化鎵晶片中電阻率、碳濃度、EL2濃度和PL譜微區(qū)均勻性的測試。

替代情況

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引用標準

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