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半導體設施接口技術文件編寫導則

Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
標準號:GB/T 15873-1995
基本信息
標準號:GB/T 15873-1995
發布時間:1995-01-02
實施時間:1996-08-01
首發日期:1995-12-22
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 加工專用設備
ICS分類:插頭和插座裝置、連接器
起草單位:中國華晶電子集團公司
歸口單位:信息產業部(電子)
發布部門:國家技術監督局
主管部門:信息產業部(電子)
標準簡介
本標準規定了半導體設施接口技術文件編寫的基本要求和格式。本標準適用于半導體設施的設計、施工、供應、管理、培訓及使用。
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