電子工業用氣體 氮 已作廢
Gases for electronic industry--Nitrogen
標準號：GB/T 16944-1997
基本信息
標準號：GB/T 16944-1997
發布時間：1997-08-13
實施時間：1998-05-01
首發日期：1997-08-13
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：
作廢日期：2010-05-01
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
起草單位：化學工業部西南化工研究院
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：國家技術監督局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了電子工業用液態和氣態氮的技術要求、檢驗方法以及包裝、標志等，適用于從分離空氣或氨還原法制得的氮，在超大規模集成電路制造中用作凈化、覆蓋、保護、加壓，也用于化學氣相淀積時的載氣等。
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