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當(dāng)前位置： 首頁(yè) > 200mm硅外延片

200mm硅外延片 現(xiàn)行

200 mm silicon epitaxial wafer

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 35310-2017

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 35310-2017
發(fā)布時(shí)間：2017-12-29
實(shí)施時(shí)間：2018-07-01
首發(fā)日期：
出版單位：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：馬林寶、駱紅、楊帆、金龍、楊素心
出版機(jī)構(gòu)：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 元素半導(dǎo)體材料
ICS分類：半導(dǎo)體材料
提出單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)、全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203/SC 2)
起草單位：南京國(guó)盛電子有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)、全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203/SC 2)
發(fā)布部門：中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了直徑200mm硅外延片的術(shù)語(yǔ)和定義、產(chǎn)品分類、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書等。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于在N型和P型硅拋光襯底片上外延生長(zhǎng)的硅外延片。產(chǎn)品主要用于制作集成電路或半導(dǎo)體器件。

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