硅基MEMS制造技術 基于SOI硅片的MEMS工藝規范 現行
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
標準號：GB/T 32814-2016
基本信息
標準號：GB/T 32814-2016
發布時間：2016-08-29
實施時間：2017-03-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：苑偉政、謝建兵、李海斌、喬大勇、馬志波、常洪龍、劉偉
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 微電路綜合
ICS分類：集成電路、微電子學
提出單位：全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC 336)
起草單位：西北工業大學、中機生產力促進中心
歸口單位：全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC 336)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了采用SOI硅片進行MEMS器件加工時應遵循的工藝要求和質量檢驗要求。本標準適用于硅基MEMS制造技術中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和質量檢驗。
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