光刻用石英玻璃晶圓 現行
Quartz glass wafer for lithography
標準號：GB/T 34177-2017
基本信息
標準號：GB/T 34177-2017
發布時間：2017-09-07
實施時間：2018-08-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：吳潔、王京俠、王友軍、李弋舟、花寧、劉煥敏、肖頌華、聶蘭艦、張浩運、楊曉會、楊學東、孔敏、張應語
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 石英玻璃
ICS分類：玻璃產品
提出單位：中國建筑材料聯合會
起草單位：中國建材檢驗認證集團股份有限公司、中建材衢州金格蘭石英有限公司、長沙韶光鉻版有限公司、中國建筑材料科學研究總院、國家安全玻璃及石英玻璃質量監督檢驗中心
歸口單位：全國工業玻璃和特種玻璃標準化技術委員會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：中國建筑材料聯合會
標準簡介
本標準規定了光刻用石英玻璃晶圓（以下簡稱石英玻璃晶圓)的術語和定義、分類、要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸和貯存。本標準適用于半導體集成電路、光通訊、微機電系統（MEMS)、光電器件和發光二極管（LED)等光刻工藝中用做襯底的石英玻璃晶圓。
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